Введение в w-seal и c-seal

Интегрированные газовые системы (IG), используемые в полупроводниковом оборудовании, обычно состоят из компонентов, таких как клапаны диафрагмы, контрольные клапаны, регуляторы, фильтры, датчики давления, контроллеры массового потока и субстраты. Эти компоненты обычно установлены на поверхности и герметизируются с использованием W-Seal или C-Seal. Выбор типа герметизации имеет решающее значение для определения производительности запечатывания системы. В этом техническом разговоре мы обсудим сходства и различия между W-Seal и C-Seal.

Сходство между w-seal и c-seal

W-Seal и C-Seal-это типы металлических уплотнений. В отличие от неметаллических уплотнений, таких как резиновые или композитные, металлические уплотнения не ухудшаются с течением времени из-за компактных, и они обладают хорошей химической совместимостью. Прокладки ICHOR W-Seal (серия IWG) и прокладки C-Seal (серия ICG) изготовлены из из нержавеющей стали 316L или 316L в соответствии с процессом ICHOR Ultra High Pucrection (FC-03). Эти прокладки электрополинируются, чтобы достичь шероховатости поверхности RA ≤ 5 мкн. (0,13 мкм), что соответствует полуфинальному получению. С превосходными характеристиками герметизации их скорость утечки герметизации (гелий) ≤ 1 × 10 ^-9 Std CM ³ /с.

По сравнению с уплотнением сварки или металлической прокладкой, W-Seal и C-Seal более компактны и могут значительно уменьшить размер систем доставки газа. Для случаев, требующих ограниченного потока, доступны герметизирующие прокладки с указанным отверстием.

Различия между w-seal и c-seal

Прокладки W-сила (серия IWG) разработаны с «плавающей» структурой, что позволяет запечатывающей поверхности независимо от компонентов, получающих внешние силы. Во время установки герметичная поверхность прокладки сжимается против поверхностных компонентов (например, корпус клапана W-шило) и подложки и образует уплотнение. Каждое W-шило может быть установлено в системе индивидуально, что позволяет легко удалить и переустановить при изменении системных макетов. Кроме того, ICHOR Service Kit (Model No.: SC-IGS-11) предлагает прокладку пинцет для прокладок W-Seal для обеспечения качественной установки прокладки.

Секция прокладки C-Seal (серия ICG) напоминает букву «C» с двумя плоскими уплотнительными боссами с обеих сторон. При правильном затяжении верхняя и нижняя часть прокладки разбивается на поверхностные компоненты (например, корпус клапана C-шило) и затвердевшие герметизирующие грани субстратов и создают уплотнения. Кроме того, кронштейн прокладки C-шило может помочь найти несколько прокладок одновременно.